- Hidráulica - Pneumática
- Válvula e Eletroválvula
- Válvula de gaveta
- VAT Vakuumventile AG
Válvula de gaveta 652 serieselétricade isolamentoreguladora de pressão
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Características
- Tipo
- de gaveta
- Acionamento
- elétrica
- Função
- de isolamento, reguladora de pressão
- Corpo
- em alumínio
- Aplicações
- para a indústria dos semicondutores
- Outras características
- compacta, de alto desempenho, para ambiente corrosivo, com motor de passo
- DN
200 mm, 250 mm
(7,874 in, 9,843 in)- Temperatura
MÍN: 0 °C
(32 °F)MÁX: 120 °C
(248 °F)
Descrição
Aperfeiçoado para o semicondutor corrosivo e os processos de FPD (por exemplo gravar) e para processos de limpeza entre processos do depósito. No modo de controle, a válvula funciona virtualmente partícula-livre. A manutenção pode ser fácil e rápida feitos. Uma vantagem é a escala prolongada do controle.
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