Válvula de transferência para sistemas de produção de telas planas de 4ª a 11ª geração. Nos sistemas de produção FPD, a válvula de transferência TwinVAT é utilizada para bloqueio de carga, transferência e isolamento da câmara de processo.
Válvula
Unidade de controle de processo (PCU) e válvulas solenóides
Tratamento de superfície, por exemplo, alumínio anodizado duro
Manómetro de vácuo para detectar a pressão no interior do corpo da válvula
Posição de montagem vertical
Portão
Outros materiais de vedação
Aterramento elétrico
---