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- VAT Vakuumventile AG
Válvula reguladora de pressão 612 seriesborboletacom atuador elétricocom conexão por flange ISO
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Características
- Tipo
- borboleta
- Acionamento
- com atuador elétrico
- Função
- reguladora de pressão
- Corpo
- com conexão por flange ISO, em aço inoxidável, em alumínio anodizado
- Aplicações
- para a indústria dos semicondutores
- Outras características
- ISO, com motor de passo
- DN
MÍN: 25 mm
(0,984 in)MÁX: 320 mm
(12,598 in)- Pressão
MÍN: 75 mbar
(1,1 psi)MÁX: 1.000 mbar
(14,5 psi)- Temperatura
MÍN: 35 °C
(95 °F)MÁX: 150 °C
(302 °F)- Fluxo
MÍN: 6 l/s
(1,59 us gal/s)MÁX: 27.000 l/s
(7.132,65 us gal/s)
Descrição
Campo de aplicação: Semicondutores, sistemas de FPD/CVD e processos industriais.
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