Semicondutores, FPD e processos industriais, particularmente sistemas do CVD.
Atuador
Atuador ultrarrápido (Senhora 90)
Controlador com parâmetros configuráveis do PI
Relação RS232 com 2 saídas análogas
Relação dos ethernet
Relação de DeviceNet
Relação da lógica
Relação de Profibus
Relação RS-485
Relação da Centímetro-relação
Relação de EtherCAT
Fonte de alimentação do sensor do SPS = da C.C. do ± 15V na falha de energia)
PFO = opção da falha de energia (a válvula se fecha ou se abre automaticamente
Válvula
Substantivo do diâmetro: DN 40/50 com ISO-KF DN 63/80/100 com ISO-F
Outras flanges (JIS, ASA-LP, alimentador de formulário contínuo)
O cliente especificou flanges
Anodizada dura de alumínio ou folheado a níquel
Outros materiais de selagem
Calefator com isolação para as temperaturas 80°C da válvula, 100°C, 120°C
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