Sistema MBE GEN930®

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Descrição

O sistema GEN930 MBE da Veeco é adequado para o desenvolvimento de materiais III-V ou II-VI, com um acoplamento directo de bomba para aplicações de nitreto e óxido. A ferramenta tem um design modular, que garante uma solução econômica e flexível, capaz de fornecer qualidade de material comprovada. Este equipamento pode ser integrado com um equipamento analítico para a monitorização in situ dos processos de crescimento. Além disso, o dispositivo oferece uma plataforma versátil com recursos em técnicas de monitoramento in-situ como RHEED, pirometria, elipsometria, RGA, monitoramento de fluxo óptico e espectroscopia de reflexão.

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* Os preços não incluem impostos, transporte, taxas alfandegárias, nem custos adicionais associados às opções de instalação e de ativação do serviço. Os preços são meramente indicativos e podem variar em função dos países, do custo das matérias-primas e das taxas de câmbio.