Fonte de pulverização iônica

16cm RF Fonte de Iões Fonte de iões RF ampla e uniforme para processos altamente reactivos A Veeco oferece uma ampla e uniforme fonte de feixe de íons para processos reativos, tais como a assistência por feixe de íons ou a deposição por feixe de íons de revestimentos ópticos altamente controlados. Suporta uma ampla gama de operações: 50 a 1500eV e 75 a 700mA Operação confiável e uniforme em ambientes inertes e oxidantes Refrigerado a água - Para operação de baixa a alta potência O design opcional de quatro redes oferece uma colimação muito alta Possui o único Neutralizador RF sem filamentos da indústria, que proporciona baixa manutenção e permite longos períodos de produção Operação de plasma estável e eficiente permite controle preciso e alta repetibilidade Adequado tanto para processos de produção em lote como para processos de produção com carga bloqueada