Máquina de deposição assistida por feixes de íons SPECTOR®

de camadas finas

SPECTOR Sistema de pulverização por feixe de íons de bloqueio de carga para revestimento óptico Produtividade e repetibilidade superiores para uma ampla gama de aplicações O SPECTOR® Loadlock Ion Beam Sputtering System da Veeco pode fornecer melhorias substanciais no rendimento para uma variedade de aplicações. Capaz de iniciar a deposição dentro de cinco minutos do carregamento do substrato, o SPECTOR Loadlock System pode facilmente dobrar a produção para projetos em que o tempo de deposição é menor do que os passos típicos de pré-processamento necessários de ferramentas em lote. A repetibilidade do sistema é também melhorada pela capacidade de manter condições de estado estacionário para parâmetros de processo como pressão, temperatura, composição da superfície alvo e energia da fonte de iões. Os usuários do SPECTOR Loadlock podem esperar melhor tempo médio entre manutenção (MTBM) para componentes como neutralizadores de radiofrequência, revestimentos de câmara e blindagem devido à sua exposição menos frequente à atmosfera e à umidade. Combinadas, essas características e benefícios permitem que os usuários fabriquem filmes da mais alta precisão e qualidade disponíveis no mercado por uma fração do custo. Aumento substancial da produção para aplicações de revestimento de baixa/média espessura Repetibilidade melhorada através de condições de processo inerentemente mais estáveis Aumento do tempo médio entre a manutenção de vários componentes chave Melhor controle de partículas