Fonte de íons SOLUS™

Controladores de fonte de íons SOLUS DC Sistema de fornecimento de energia líder na indústria para as fontes de iões de grade DC da Veeco O Controlador de Fonte de Iões DC da Veeco em SOLUS™ apresenta um design de sistema de controlo de precisão de última geração, fornecendo energia fiável e estável para a operação da fonte de iões em todos os tipos de processos. Módulos de potência integrados e controle de fluxo de gás com recursos de proporção permitem o controle e o desempenho ideais da fonte de íons nos ambientes de processo mais exigentes. Operação fácil de usar com um único botão Opções de operações manuais, automatizadas e remotas Controle de ponta para maior estabilidade do plasma Controle de fluxo de gás integrado e configurável Configurações de controle personalizáveis para operação de fonte personalizada Recursos de solução de problemas com economia de tempo Tela de registro de eventos úteis e status