Fonte de íons DC

6cm x 30cm Fonte de iões DC Fonte linear para substratos grandes/grandes ou grandes lotes de substratos As fontes de íons de CC de grade linear comprovada da Veeco são ideais para plataformas de processo de deposição de feixe de íons altamente uniformes e confiáveis, utilizando substratos individuais grandes/amplos ou grandes lotes de substratos. Eles são um excelente recurso para fixação linear ou cilíndrica. Apresenta o mesmo design inovador, qualidade e fiabilidade que as fontes de feixes de iões redondos de classe mundial da Veeco Fornece plasma uniforme e densidade de alta corrente Suporta uma ampla faixa de energia de feixe de 50 a 2000 eV com correntes nominais de feixe por fonte até 500 mA As opções de fonte de alimentação permitem correntes de feixe de até 800 mA