Sistema de distribuição de gás GSDS-Series

Os Sistemas de Fornecimento de Fonte de Gás (GSDS) da Veeco são utilizados principalmente para operações de controle de fontes de gás Veeco MBE. Eles também podem ser usados para o controle preciso de gases e intertravamentos, e processos de monitoramento para uma variedade de tipos de gases. Esses dispositivos apresentam os sistemas de software Molly® ECS1 Growth Control Software que permitem uma rápida integração com os sistemas de saída. Os Sistemas de Fornecimento de Fonte de Gás estão disponíveis em 3 configurações de modelo, especificamente projetados e fabricados para atender às demandas dos clientes, requisitos de aplicação e orçamentos. Todos os pacotes incluem válvulas de fechamento manual da linha de gás para cada circuito, purificadores de filtro de gás e controladores de fluxo de massa. Válvulas de acionamento pneumático também são fornecidas.