Estufa de câmara

a vácuoautomáticaindustrial

Fornos Nossos fornos são totalmente automatizados com ferramentas convenientes e design para ambos os processos com diferentes zonas de aquecimento controláveis, completamente de acordo com as capacidades e necessidades dos clientes. Nossos equipamentos são para estes tipos de wafer com diâmetros de 100, 150, 200, 300 mm. FORNOS DE VÁCUO Vegatec projeta e fabrica fornos a vácuo com todo o seu sistema de automação para laboratório e indústria de microeletrônica, nanoeletrônica e fotovoltaica. Estes fornos são os seguintes; Deposição em fase vapor por processo químico a baixa pressão (LPCVD) Os processos são; Nitreto de Silício Óxido de TEOS Óxido de baixa temperatura (LTO) Óxido de alta temperatura (HTO) Polissilício Dopado Oxinitreto de Silício Polissilício Silanização Deposição em fase vapor por processo químico intensificada por plasma (PECVD) Os processos são; Óxido de Silício Nitreto de Silício Oxinitreto de Silício Dopagem de Fósforo e Boro Recozimento a vácuo Características Gerais dos Fornos a Vácuo Fácil de usar e fácil de manter graças ao design de fácil utilização Câmara do forno e suporte de amostra tipo cantilever feitos de quartzo de alta pureza Capaz de trabalhar em até 10 salas limpas de classe Capacidade de trabalhar sob vácuo até 10-6 Longa vida útil graças a componentes de alta qualidade Zonas de aquecimento controláveis separadamente Fácil utilização da interface de automação Tubos de forno empilháveis para design compacto de diferentes processos ao mesmo tempo Capacidade de carga manual ou automática Capacidade de acordo com cada cliente Escala laboratorial ou industrial