Sistema de aquecimento STREAMLINE™

O aquecimento e o controlo dos processos térmicos nas linhas de gás, nas linhas de avanço e nas linhas de escape numa ferramenta de semicondutores são tipicamente complexos devido ao número de componentes e ao labirinto de cablagem, todos localizados numa área pequena. Estes factores tornam a instalação e a manutenção complicadas, demoradas e dispendiosas. Além disso, os clientes actuais requerem mais dados térmicos sobre o estado do sistema para garantir a uniformidade da temperatura, que é necessária para manter as linhas a funcionar sem problemas. Além disso, os ciclos comerciais do mercado de semicondutores podem causar longos prazos de entrega quando a oferta não consegue acompanhar a procura. Estas questões, e outras, tornam o trabalho dos engenheiros de equipamento de semicondutores mais desafiante do que nunca. Devido aos muitos anos de experiência a trabalhar no mercado de semicondutores e ao profundo conhecimento do domínio, a Watlow® desenvolveu recentemente a solução de sistema térmico de fornecimento de gás STREAMLINE™ que apresenta as suas tecnologias patenteadas Adaptive Thermal Systems® (ATS™) que podem ajudar a resolver o problema do mercado associado à complexidade dos sistemas típicos. A solução da Watlow é um sistema térmico inovador, dinâmico e completo que proporciona uniformidade de temperatura, uma pegada reduzida, diagnósticos extensivos e tempos de desenvolvimento mais rápidos. A Watlow removeu os componentes incómodos do aquecedor e transferiu essas capacidades e funções para o controlador de temperatura EZ-ZONE® RMT, que oferece um controlo de circuito fechado com proteção de segurança contra sobreaquecimento integrada para cada aquecedor com apenas dois fios. Isto ajuda a reduzir os erros de instalação e facilita a resolução de problemas.