Com a Sonda Nano Focus, a superfície da peça pode ser capturada como uma nuvem de pontos 3D e a dimensão, forma, posição e rugosidade nas microestruturas podem ser avaliadas. A supressão de luz Stray permite uma medição 3D fiável da topografia mesmo de superfícies reflectoras com desvios de sondagem na gama de submicrometria. O sensor óptico confocal também proporciona bons resultados em flancos íngremes com grandes ângulos de inclinação.
• Lentes diferentes permitem que o sensor seja adaptado à tarefa em mãos
• O sensor pode ser utilizado em todo o volume de medição da máquina de medição de coordenadas e os resultados da medição podem ser ligados no mesmo sistema de coordenadas
• Uma superfície total pode ser calculada a partir de várias nuvens de pontos parciais adjacentes quase sem perda de precisão
Gama de medição
Medição "Na imagem" com eixo de medição Z integrado 250 µm
Precisão
Desvio de sondagem admissível até 0,15 µm
Como funciona
Ao mover a cabeça de medição com a) iluminação, b) câmara, c) orifício e d) óptica de imagem relativa à peça de trabalho e) intensidade dos pontos de luz f), g) é variada por desfocagem. A sobreposição dos pontos de luz desfocados f) é evitada por grandes distâncias g).