Mesa de coordenadas de precisão submicrônica XLS-1 Ultra Series

linearpiezoelétricacom resolução sub-nanométrica

O Xeryon Linear Stage (XLS) é um estágio linear muito preciso acionado por um motor piezoelétrico ultra-sônico silencioso. Isto permite um posicionamento rápido com precisão nanométrica. O motor piezoelétrico de autobloqueio mantém a posição da mesa quando não é alimentado. Como resultado, o consumo de energia e a geração de calor são consideravelmente reduzidos. O codificador integrado tem uma resolução de 78 nm.