Mesa de coordenadas linear XLS-1 Ultimate Seriespiezoelétricade precisão submicrônicacompatível com vácuo
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Características
- Orientação
- linear
- Outras características
- de precisão submicrônica, compatível com vácuo, com resolução sub-nanométrica
- Curso
MÍN: 27 mm
(1,063 in)MÁX: 102 mm
(4,016 in)- Velocidade
MÍN: 0 mm/s
MÁX: 200 mm/s
Descrição
O Xeryon Linear Stage (XLS) é um estágio linear preciso acionado por um motor piezoelétrico ultra-sônico silencioso. Isto permite um posicionamento rápido com precisão nanométrica. O motor piezoelétrico de autobloqueio mantém a posição da mesa quando não é alimentado. Como resultado, o consumo de energia e a geração de calor são consideravelmente reduzidos. O encoder integrado tem uma resolução de 10 nm.
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