Braço manipulador em cerâmica

para manipulação de wafers

As peças de cerâmica de alumina são utilizadas para peças rotativas em máquinas de fotolitografia e em estado de vácuo. Isto requer uma precisão de maquinação extremamente elevada, e a excentricidade do círculo interno deve estar dentro de 2 microns. As cerâmicas finas tornaram-se componentes-chave do equipamento de semicondutores. Especialmente nas máquinas de litografia de topo de gama, a fim de alcançar uma elevada precisão de processo, é necessário utilizar amplamente componentes cerâmicos com um bom composto funcional, estabilidade estrutural, estabilidade térmica e elevada precisão dimensional, tais como o E-chuck, Vacumm-chuck, Block, placa de esqueleto de aço magnético arrefecido a água, refletor, carril de guia, etc. Outras peças cerâmicas de alta precisão utilizadas na indústria de semicondutores As cerâmicas de precisão tornaram-se componentes-chave do equipamento de semicondutores, incluindo fornos de cristal único, equipamento de implantação de iões, máquinas de fotolitografia, equipamento CVD/PVD e equipamento de embalagem e ensaio.