Cerâmica para fonte de íons

em placasem tubosem barrinhas

C. Casos de aplicação de acessórios para implantadores de iões e acessórios de cerâmica 1. Caso do componente do implantador de iões Os exemplos de aplicação dos acessórios para implantadores de iões incluem o fabrico de componentes-chave dos implantadores de iões, tais como rolamentos, ventosas de vácuo, mandris electrostáticos, bicos, filamentos, módulos catódicos, etc. Devido à sua elevada dureza, elevada força e elevada resistência ao calor, os acessórios cerâmicos são capazes de melhorar o desempenho e a fiabilidade dos implantadores de iões. 2. Caso do equipamento de fabrico de semicondutores Peças para implantadores de iõesExemplos de equipamento de fabrico de semicondutores para acessórios de cerâmica incluem os componentes-chave para o fabrico de equipamento de fabrico de semicondutores, tais como substratos de embalagem, materiais isolantes, etc. Devido ao seu excelente isolamento elétrico e estabilidade química, os acessórios de cerâmica podem assegurar um funcionamento estável a longo prazo do equipamento de fabrico de semicondutores em ambientes agressivos.