O sensor de gás de cheiro de hálito MEMS usa placa quente de microfabricação MEMS em uma base de substrato de Si, materiais sensíveis a gás usados no ar limpo com material semicondutor de óxido metálico de baixa condutividade. Quando o sensor é exposto à atmosfera de gás, a condutividade muda conforme a concentração de gás detectada no ar. Quanto maior a concentração do gás, maior será a condutividade. Usando um circuito simples pode-se converter a mudança de condutividade da concentração de gás correspondente ao sinal de saída.
Aplicação
Mini detector de respiração
Funcionalidades
Tecnologia MEMS, estrutura forte
Alta sensibilidade ao H2S, álcool e gás acetona
Tamanho pequeno, alta sensibilidade, baixo consumo de energia
Resposta e retomada rápidas, circuito de acionamento simples, longa vida útil