O sensor de gás monóxido de carbono MEMS usa placa quente de microfabricação MEMS em uma base de substrato de Si, materiais sensíveis a gás usados no ar limpo com material semicondutor de óxido metálico de baixa condutividade. Quando o sensor é exposto à atmosfera de gás, a condutividade muda conforme a concentração de gás detectada no ar. Quanto maior a concentração do gás, maior será a condutividade. Use um circuito simples para converter a mudança de condutividade da concentração de gás correspondente ao sinal de saída.
Aplicação
É adequado para a detecção de vazamento de monóxido de carbono para uso residencial ou industrial.
Funcionalidades
Tecnologia MEMS, estrutura forte
Alta sensibilidade ao gás CO
Alta sensibilidade, baixo consumo de energia
Resposta e currículo rápidos
Circuito de acionamento simples