Vacuômetro capacitivo de membrana ZNX series

analógicocom controladorcompacto

O sensor ZNX é um sistema de medição de posição sem contacto baseado no princípio da micrometria de capacitância. Duas placas de sensor (um alvo e uma sonda) formam um condensador de placas paralelas. O espaçamento destas duas placas pode ser medido, utilizando o controlador eletrónico apropriado, com uma precisão superior a 0,1 nm, com um alcance até 1,25 mm, uma resposta de frequência até 5 kHz e linear até 0,02%. Uma vez que o sensor ZNX é um método sem contacto, não tem histerese. Não é dissipada qualquer energia no ponto de medição. - Medição de precisão até picómetros - Estabilidade de medição - Ajustável para satisfazer os requisitos da aplicação - Opções para uma vasta gama de aplicações -Principais características Gama de 20 ~ 1250μm; Resolução de posição subnanométrica; Histerese zero; Erro de linearidade até 0,02%; Largura de banda até 5 kHz; Termos Super Invar disponíveis; Opções compatíveis com vácuo; Erro de linearidade (%): <0,08, <0,08, <0,06, <0,05; Faixa curta de μm: 20, 100, 250; Longo alcance μm: 50, 100, 500; Saída analógica: ± 5, ± 5, ± 5, 8; Largura de banda máxima: 5, 5, 5, 12.5Khz.