Interferômetro para medição de deslocamento ZMI™ Series

ópticoa laserpara litografia

As configurações padrão do interferómetro ZYGO suportam muitos tipos de cenários de medição. A maioria dos interferómetros pode suportar uma orientação de medição em linha recta ou em ângulo recto e pode ser fabricada para funcionamento em vácuo. Esta unidade mede alvos retrorreflectores para rastrear objectos que se movem principalmente numa dimensão linear ou que giram em torno de um ponto fixo. A ZYGO oferece um interferómetro linear de tamanho padrão e compacto para acomodar diferentes restrições de espaço do sistema. Exemplos: Fases de retículo, sistemas de pórtico, espelhos de direcção Esta unidade mede alvos-espelho planos para rastrear objectos que se movem em múltiplas dimensões lineares com rotações limitadas. Os interferómetros-espelho plano da ZYGO são concebidos para uma estabilidade elevada a fim de atenuar o erro térmico. Exemplos: Estágios de Wafer, sistemas de estágios empilhados Esta unidade mede as alterações no índice de refracção para utilização na compensação de outros eixos de medição. O Compensador de Comprimento de Onda Compacto da ZYGO fornece feedback de alta precisão da mudança de índice para melhor desempenho da medição do deslocamento em condições ambientais. Completar o sistema de medição encaminhando o feixe do laser para os interferómetros e, por fim, para a electrónica de medição. A ZYGO oferece uma variedade de espelhos dobráveis padrão, separadores de feixe, captadores de fibra óptica e cabos de fibra para uma configuração flexível do seu sistema de medição.