Interferômetro para medição de deslocamento ZMI™ Series

ópticoa laserdiferencial

ZMI™ electrónica de medição calcular o deslocamento utilizando sinais ópticos dos interferómetros accionados por uma fonte laser ZMI™. O ZMI™ 501A fornece dois eixos de medição num conveniente recinto autónomo. As placas das séries ZMI™ 2400, 4000, e 4100 fornecem uma resolução sub-nanométrica para servir as mais desafiantes aplicações de metrologia de posição. Estas placas podem ser adicionadas de forma modular num chassis VME para proporcionar escalabilidade até 64 eixos de medidas. Para uma precisão de medição máxima, a nossa opção patenteada Cyclic Error Correction (Correcção de Erros Cíclicos) elimina automaticamente e sem problemas os erros comuns não lineares intrínsecos nos sistemas DMI.