Medição de posição absoluta sem contacto de alta precisão em até 64 canais sincronizados
O sistema ZPS SensorZYGO ZPS™ mede a posição absoluta usando sensores ópticos ultra-compactos que são facilmente integrados em aplicações de alta precisão, tais como espelhos deformáveis e posicionamento de lentes.
O sistema de sensor óptico fornece até 64 canais sincronizados de medição de posição absoluta de alta precisão, sem contacto, numa gama de 1,2 mm. A resolução de medição é de 0,01 nm com ≤ 1 nm/dia de estabilidade de medição.
Sensor ópticoOs sensores ópticos não geram calor e são insensíveis a interferências electromagnéticas, tornando o sistema ZPS ideal para aplicações de alta precisão que podem ser afectadas por estes factores. Os sensores ultra-compactos ligam-se ao invólucro compacto centralizado através de cabos de fibra óptica. O software complementar da ZYGO ZPS™ fornece uma ligação plug-and-play entre o sistema ZPS e o seu computador, permitindo-lhe colocar-se em funcionamento com o seu sistema de forma rápida e fácil.
O sistema ZPS é tipicamente utilizado em sistemas de feedback em circuito fechado que requerem um fluxo contínuo de dados de posição de alta precisão de vários sensores para compensar a deriva e manter um posicionamento e alinhamento precisos. O sistema também pode ser utilizado como ferramenta em RD&E e ambientes de fabrico para alinhamento em dispositivos de teste ou para quantificar o desempenho mecânico dinâmico.
- Medição óptica sem contacto
- Medição de posição absoluta repetível (≤ 0,5 nm, 3σ)
- Sistema de alta precisão utilizando algoritmos de compensação proprietários
- Sensores ultra-compactos sem sensibilidade EMI ou geração de calor
- Componentes de fibra óptica fiáveis e comprovados por telecomunicações
- Escalável, até 64 canais
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