O sistema de metrologia Nexview™ 650 é uma ferramenta de inspecção para a medição automática de ferramentas de moldagem por injecção, PCB, painéis de vidro e outras amostras que requerem um volume de trabalho prolongado até 650 x 650 mm. Fornece medições 2D e 3D de uma variedade de características de superfície com precisão vertical sub-nanométrica e precisão lateral sub-micrónica.
Desempenho poderoso
Coherence Scanning Interferometry (CSI) é a tecnologia de medição no núcleo do sistema Nexview™ 650.
Esta técnica sem contacto proporciona benefícios de metrologia de superfície de alta precisão, e de alto valor, incluindo:
- Mede praticamente todos os tipos de superfícies, desde ásperas a super lisas, incluindo películas finas, declives íngremes, e degraus grandes.
- A precisão da medição sub-nanométrica é independente da ampliação do campo
- Desempenho com capacidade de medição - precisão e repetibilidade excepcionais para as aplicações de produção mais exigentes.
- SureScan™ tecnologia de tolerância à vibração - operação robusta em praticamente qualquer ambiente.
- Mx™ software permite o intercâmbio de dados sem falhas com outros Profilers ZYGO, incluindo ZeGage™ Pro, NewView™ 9000, e Nexview™ NX2.
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