Durante mais de 50 anos, a interferometria de mudança de fase tem sido a tecnologia de eleição para instrumentos de metrologia de forma de superfície de alta precisão. Estes interferómetros fornecem medições rápidas e fiáveis do erro de forma da superfície e da frente de onda transmitida de componentes, sistemas e conjuntos ópticos. Desde ambientes de investigação a uma vasta gama de aplicações industriais, os interferómetros laser oferecem elevados níveis de rastreabilidade de dados para garantia de qualidade e análise pós-produção. Tornaram-se uma parte integrante do processo de fabrico.
O Qualifire da Zygo representa um salto em frente para os interferómetros laser, fornecendo soluções para os desafios conhecidos deste tipo de instrumentos.
Uma nova abordagem à interferometria de mudança de fase
Comum à metrologia ótica em muitos sistemas modernos, a conceção Fizeau utiliza uma fonte pontual fixa e coerente no eixo para iluminar a cavidade interferométrica. Na maior parte das vezes, funciona muito bem. Embora a mudança de fase e a iluminação fixa continuem a ser o padrão de ouro, a Zygo está sempre à procura de melhorias e explorou os benefícios da iluminação dinâmica com a nova opção Flying Spot.
O interferómetro laser Qualifier oferece muitas características novas e inovadoras.
- Flying Spot: nova técnica de Redução de Artefactos Coerentes
- Focagem automática da cavidade do plano
- Zoom estável
- Acessórios inteligentes
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