Mesas de coordenadas compatíveis com vácuo Steinmeyer

Curso: 1 mm - 40 mm
Velocidade: 1 mm/s - 200 mm/s
Repetibilidade: 0,3 µm - 5 µm

... de material e lubrificação por vácuo adaptada à aplicação - Pode ser combinado com um sistema de transferência XYZ (por exemplo, LA90, LA95, LA170) - Adaptação individual à situação de instalação na câmara - ...

Curso: 1 mm - 100 mm
Velocidade: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidade: 0,4 µm - 5 µm

... útil apesar da lubrificação a seco Características: parafuso de avanço com lubrificação a seco ou parafuso de esferas com travões piezoeléctricos líquidos para estabilidade em nm - Vácuo: ...

Curso: 1 mm - 300 mm
Velocidade: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidade: 0,015 µm - 5 µm

... Vantagem: posicionamento nanométrico, também na vertical Características: posicionamento com extrema resolução e máxima rigidez pode ser equipado com 2 (ou 4) motores - Vácuo: todas ...

Curso: 1 mm - 185 mm
Velocidade: 1 mm/s - 8,4 mm/s
Repetibilidade: 0,4 µm - 5 µm

... útil elevada apesar do lubrificante seco - Características: parafuso de avanço com lubrificante seco ou fuso de esferas com lubrificante líquido - Vácuo: ...

Curso: 1 mm - 10 mm
Velocidade: 0,2 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidade: 0,2 µm - 5 µm

... MT53 Microestágio de alta resolução Aplicação: microestágio multiusos Vantagem: para digitalização de alta resolução Características: posicionamento com resolução muito elevada - Vácuo: ...

Curso: 1 mm - 50 mm
Velocidade: 1 mm/s - 50 mm/s
Repetibilidade: 0,3 µm - 5 µm

... Estágio XY de alta resolução Aplicação: estágio XY de vácuo Vantagem: rapidez e alta resolução Características: parâmetros de guinada e inclinação três vezes melhores do que a variante com apertur ...

Curso: 1 mm - 100 mm
Velocidade: 1 mm/s - 10 mm/s
Repetibilidade: 0,4 µm - 5 µm

... Opcionalmente com acionamento por parafuso de avanço ou por fuso de esferas lubrificado para velocidades mais elevadas - Pode ser combinado com mesas ...

Curso: 1 mm - 16 mm
Velocidade: 1 mm/s - 2,2 mm/s
Repetibilidade: 1 µm - 5 µm

... elevação vertical precisa para cargas elevadas Aplicação: plataforma de elevação por vácuo Vantagem: elevada rigidez e carga Características: cunha com fuso de esferas - Vácuo: ...

Curso: 1 mm - 16 mm
Velocidade: 1 mm/s - 16,6 mm/s
Repetibilidade: 0,7 µm - 5 µm

... HDT255 Mesa elevatória com grande abertura de carga Aplicação: plataforma elevatória de vácuo Vantagem: - alta rigidez e carga, abertura Características: plataforma em cunha com ...

Curso: 1 mm - 25 mm
Velocidade: 1 mm/s - 3,4 mm/s
Repetibilidade: 0,3 µm - 5 µm

... elevação vertical precisa para cargas elevadas Aplicação: Plataforma de elevação a vácuo Vantagem: elevada rigidez e carga Características: cunha com fuso de esferas - ...